型号: Nano Imprint 2.5

奈米压印微影系统

最大样品: 2.5吋直径

可做热成型及UV成型

型号: Nano Imprint 6 & 8

奈米压印微影系统

最大样品: 6吋或8吋直径

可做热成型及UV成型

提供auto alignment系统

型号: EBR 200BaB6

电子束蚀刻系统

采用BaB6热电子束

型号: EBR 200TFE

电子束蚀刻系统

采用热场发电子束

型号: 代加工各式母版stamper