型號: Nano Imprint 2.5

奈米壓印微影系統

最大樣品: 2.5吋直徑

可做熱成型及UV成型

型號: Nano Imprint 6 & 8

奈米壓印微影系統

最大樣品: 6吋或8吋直徑

可做熱成型及UV成型

提供auto alignment系統

型號: EBR 200BaB6

電子束蝕刻系統

採用BaB6熱電子束

型號: EBR 200TFE

電子束蝕刻系統

採用熱場發電子束

代加工各式母版stamper